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探针式轮廓仪/台阶仪 技术优势：$n1. 每次扫描数据点：最多可达120.000数据点$n2. 最大样品厚度：50mm(2英寸)$n3. 最大晶圆尺寸：200mm(8英寸)$n4 台阶高度重现性：4A，1sigma在1um台阶上$n5. 垂直范围：1mm(0.039英寸)$n6.垂直分辨率：最大1A (6.55um垂直范围下)
更新时间：
2023-10-26
型号：
厂商性质：
经销商
浏览量：
282
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