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傅里叶红外光谱仪 一、应用:用于半导体材料内部含量检测,同质外延厚度测量和其他应用,用于先进的半导体工厂,在硅生长和器件制造领域进行材料表征 二、技术参数: 1.光谱范围:远红外、中红外、近红外、可见光 2. 信噪比:55000:1 3.光谱分辨率(cm-1):0.09电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
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